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CDE四点探针电阻仪ResMap 178

CDE四点探针电阻仪ResMap 178

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    上海 上海 浦东新区 中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号1幢1区6033室
是否进口:否产地:美国加工定制:否
类型:数字式电阻测量仪表品牌:CDE型号:ResMap 178
测量范围:1MΩ

产品名称:CDE四点探针电阻仪ResMap 178

产品型号:ResMap 178

产品介绍:

ResMap Model 178已成为成本效益电阻率测量的行业标准。该四点探针旨在满足工艺开发和工具表征工程师的需求,具有所需的准确性、可重复性和可靠性。其庞大的安装基础证明了其性能、易用性和低拥有成本。

CDE的成立旨在为半导体及相关行业开发和制造高性能、高性价比的晶圆计量工具。CDE ResMap是一系列适用于各种应用的自动电阻率测绘系统。4点探针测量工具是一种仪器,用于测量导电介质(通常是半导体应用的薄膜)中的薄层电阻(或Rs)。

性能特点:

? 准确性

? 可重复性

? 可靠性

技术参数:

? 晶片处理:手动装载

? 晶圆尺寸:2英寸至8英寸

? 尺寸:12英寸x 19英寸x 10英寸

? 典型测量时间:每个站点1秒

? max吞吐量:每片晶圆1分钟(49个站点)

? 测量范围:2米?/-5米?/(可以优化到1米?/)

? 重复性(1σ,典型):≤±0.02%(静态或Rs-pack);≤±0.1%(动态近点)

? 精度:使用NIST traceableResCal标准≤±0.5%

? min边缘排除:1.5mm(探头中心到薄膜边缘)

? 交流电源:100V至240V<10 KVA

? 产地:美国

上海连航机电科技有限公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件,提供过程控制技术询问,工业自动化集成设计与改造,成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。为紧跟工业科技发展步伐,连航分别在德国和美国设立了公司和仓储,一举巩固了采购能力,扩大了由工厂直采加产品集散带来的二度成本优势。

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